機械設備行業：全球半導體設備景氣上行 設備國產化取得階段性進展

　　國產設備技術及市場突破值得關注，優勢企業初步具備進口替代能力受益于中國大陸半導體產能持續擴張，2020年以來全球半導體設備需求持續上行，9月北美設備出貨額達27.48億美元/yoy+40%，創單月出貨歷史新高（SEMI數據）。8月以來長江存儲新一輪設備招標密集落地，中微公司(行情688012,診股)、北方華創(行情002371,診股)、上海精測、中科飛測、盛美股份、華海清科等國產設備企業陸續中標。我們認為，近期本土晶圓廠擴產及自主可控意識提升所帶來的國產設備需求及本土設備企業在技術、市場份額的突破值得關注，刻蝕、薄膜沉積設備及半導體供氣環節有望突出受益，建議關注能夠進入主流晶圓廠供應體系并契合未來工藝方向的優勢企業。

　　全球半導體設備景氣上行

　　據SEMI數據，北美（全球最主要的半導體設備產地）半導體設備出貨額于2019年10月結束了連續11個月的下滑恢復正增長，進入2020年以來持續保持高速增長，7-9月同比增速達27%、33%、40%，一定程度上反映了在疫情影響下全球設備需求仍然強勁，我們認為中國晶圓廠的持續擴產是其重要驅動因素。2019Q4-2020Q2，中國大陸半導體設備銷售額同比增長60%、48%、37%，遠高于全球19%、13%、26%的同比增速。考慮芯片自主可控需求提升及技術進步、中芯國際(行情688981,診股)登陸科創板、中芯南方獲大基金增資等因素，國內擴產進程有望進一步加快，推動設備需求上行。

　　設備國產化已取得階段性進展

　　伴隨一期擴產及二期開工，8月以來長江存儲開啟新一輪較集中的設備招標，其中8月至今擬中標的本土企業：中微公司（12臺刻蝕機）、北方華創（1臺PVD設備、9臺刻蝕機、28臺熱處理設備）、上海精測（3臺量測設備）、中科飛測（1臺量測設備）、盛美股份（8臺清洗機）、華海清科（10臺CMP設備）、屹唐（3臺刻蝕機、16臺去膠設備）。2020年以來國產中標份額：1）刻蝕：中微公司15%、北方華創9%；2）CVD：沈陽拓荊3%；3）PVD：北方華創57%；4）工藝檢測：上海精測6%；5）熱處理：北方華創28%；6）清洗：盛美股份31%；7）CMP：華海清科38%。

　　科創板助力設備崛起

　　10月10日中微公司發布定增募集說明書（申報稿），本次向特定對象發行股票總額不超過100億元，募資項目建成后，一方面能夠擴充現有產品的產能，另一方面通過建設產業化基地及研發中心助力產品線擴張。據公司未來發展戰略，將考慮擴大在刻蝕設備領域的競爭優勢，延伸到薄膜、檢測等其他關鍵設備領域；計劃擴展在泛半導體領域設備的應用，布局顯示、MEMS、功率器件、太陽能(行情000591,診股)領域關鍵設備。10月15日本土CMP設備企業華海清科發布IPO招股說明書（申報稿），募資擬投入高端半導體裝備（化學機械拋光機）產業化、高端半導體裝備研發、晶圓再生擴產升級等。

　　風險提示：宏觀經濟下行及半導體行業周期性波動的風險；海外疫情加劇的風險；國內芯片制造技術突破慢于預期、產業投資不及預期的風險；國內半導體設備技術突破慢于預期的風險。